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研究室紹介
製造業を担う情報システム・検査システムの高度化を目指して，実応用に即した研究を行っています。
情報システムに関しては、製造業の業務プロセス革新を目指し、経営情報・設計・生産・環境対応の各システムの分野で、特に意思決定の支援技術を研究しています。具体的には、ビジネス環境変化に対する損益シミュレーション、製造・調達・品質保証・環境等の関連部門において起きうる問題の設計段階での事前評価技術、環境負荷低減や効率的なサプライ＆リサイクルチェーンを実現するための最適化技術・統計分析技術等のテーマがあります。
また，検査システムに関しては，半導体やハードディスクのような先端デバイスの高歩留り量産を支えるマシンビジョン応用システムの開発を行っています。画像処理・パターン認識アルゴリズムの研究開発を主体に、電子線・光学装置の物理シミュレーションに裏打ちされた欠陥認識・3次元パターン計測技術の開発を進めています。
【キーワード】
経営情報システム、設計・生産システム、環境対応システム、最適化技術、統計分析技術、マシンビジョン応用システム、画像処理、パターン認識、3次元パターン計測技術
半導体ウェーハ欠陥検査技術(下)