デバイス作製用装置(印刷装置以外)
スピンコーター | 酸素プラズマ | 超音波洗浄機 | ホモジナイザー |
自動刺繍機 | 凍結乾燥機 | グローブボックス | 原子層堆積装置 ALD |
パリレンコーター | 真空オーブン | 三層型ガスアニール炉 | オーブン |
レーザー加工機 | 超純水生成器 | 攪拌脱泡装置 | フォトリソグラフィー |
EB蒸着装置 | 遠心分離機 | ドラフトチャンバー | |
印刷装置
3Dプリンター | インクジェットプリンタ | スクリーン印刷機 | ディスペンサー印刷機 |
測定・解析装置、ワークステーションなど
光学顕微鏡 | プローブステーション | ポテンショスタット | フォースセンサ |
ハイスピードカメラ | メモリハイロガー | データロガー | 電源など |
環境制御オーブン | 半導体アナライザ | ソーラーシミュレーター | 透過率測定装置 |
赤外線カメラ | |||