デバイス作製用装置(印刷装置以外)
スピンコーター | 酸素プラズマ | 超音波洗浄機 | ホモジナイザー |
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自動刺繍機 | 凍結乾燥機 | グローブボックス | 原子層堆積装置 ALD |
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パリレンコーター | 真空オーブン | 三層型ガスアニール炉 | オーブン |
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レーザー加工機 | 超純水生成器 | 攪拌脱泡装置 | フォトリソグラフィー |
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EB蒸着装置 | 遠心分離機 | ドラフトチャンバー | カーボンコーター |
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スパッター装置 | 熱蒸着装置 | エレクトロスピニング | |
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印刷装置
3Dプリンター | インクジェットプリンタ | スクリーン印刷機 | ディスペンサー印刷機 |
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測定・解析装置、ワークステーションなど
光学顕微鏡 | プローブステーション | ポテンショスタット | フォースセンサ |
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ハイスピードカメラ | メモリハイロガー | データロガー | 電源など |
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環境制御オーブン | 半導体アナライザ | ソーラーシミュレーター | 透過率測定装置 |
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赤外線カメラ | 卓上SEM | Auコーター(SEM用) | パーミエーター |
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粘度計 | 極低温プローブ ステーション | AFM | ロボットハンド |
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